Выделение инженерии поверхности в отдельное научное направление говорит о той важности, которая в настоящее время придается и изучению состояния поверхности, и методам ее модификации. Основная цель обработки поверхности металлических материалов заключается в гомогенизации поверхности, то есть выравнивании ее химического и фазового состава. Практически всегда материалы, даже аттестуемые как однофазные, содержат микроскопические включения вторых фаз, являющиеся неизбежными неметаллическими примесями, возникающими в материале в процессе его производства. Такая неоднородность является нежелательной, поскольку именно она является причиной коррозии, если иметь в виду использование металлических материалов в приложениях, связанных с работой деталей в агрессивных средах или причиной пробоя, если говорить об использовании металлических деталей в качестве компонентов высоковольтных электровакуумных приборов.

Облучение материала интенсивным импульсным электронным пучком на установке "РИТМ" приводит к плавлению тонкого поверхностного слоя, при этом присутствующие в зоне нагрева включения частично испаряются, а частично растворяются в расплаве основного материала. Происходит гомогенизация поверхностного слоя вследствие удаления из него включений вторых фаз. Этот процесс схематически изображен на рисунке. Кроме того, под действием сил поверхностного натяжения происходит сглаживание поверхностного слоя, т.е. уменьшение шероховатости поверхности.