Установка "РИТМ-СП"
Компанией "Микросплав" совместно с Институтом сильноточной электроники СО РАН введена в эксплуатацию комплексная лабораторная установка для формирования поверхностных сплавов контролируемого состава "РИТМ-СП".
Установка представляет собой источник низкоэнергетических сильноточных электронных пучков «РИТМ», скомбинированный с двумя магнетронными напылительными системами на единой вакуумной камере. Установка позволяет осуществлять напыление нанопленок разных материалов на поверхность нужного изделия и последующее жидкофазное перемешивание материалов пленки и подложки интенсивным импульсным электронным пучком. При этом толщины формируемых поверхностных сплавов составляют от долей до десятков микрон.
Схема работы установки выглядит следующим образом: