Поверхностный сплав формируется путем поочередного напыления нанопленки на нужное изделие и последующего жидкофазного перемешивания напыленной нанопленки с подложкой интенсивным импульсным электронным пучком. Обе операции напыления и миксинга происходят в едином вакуумном цикле. Функционально поверхностный сплав представляет собой покрытие, обладающее необходимыми свойствами и существенно улучшающее служебные свойства изделия или детали. Однако, поверхностный сплав существенно отличается от покрытия, поскольку не содержит границы раздела между подложкой и покрытием. Поверхностный слой с заданным химическим составом оказывается вплавленным в подложку и составляет с ней единое целое. Таким образом, в данном случае не существует отдельно покрытия и подложки, а существует единый конгломерат, состоящий из материала подложки и поверхностного сплава.